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平博pinnacle体育,上海朋熙半导体申请故障机台查找专利能够提高查找故障机台的效率

2024-11-01 06:44:39
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  金融界2024年10月29日消息,国家知识产权局信息显示,平博pinnacle体育,上海朋熙半导体有限公司申请一项名为“一种故障机台的查找方法平博pinnacle体育,、系统、设备、介质及产品”的专利,公开号 CN 118824884 A,申请日期为2024年6月。

  专利摘要显示,本申请涉及信息技术领域,提供一种故障机台的查找方法、系统、设备、平博pinnacle体育,介质及产品。本申请的故障机台的查找方法包括:获取当前晶圆的刮伤线条信息和当前晶圆的物理中心坐标;基于当前晶圆的刮伤线条信息和当前晶圆的物理中心坐标获取第距离其中第距离为当前晶圆的物理中心坐标到当前晶圆的刮伤线条的最近距离;基于第一距离平博pinnacle体育,,获取机械臂的预估半径;基于机械臂的预估半径,获取故障机台的地址信息;其中,故障机台的地址信息为一个或多个。通过上述配置方式,本申请能够提高查找故障机台的效率。

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